В света на производството на полупроводниково оборудване,качеството на повърхността не е само естетика-а функция, дълготрайност и прецизност. Компоненти като патронници за пластини, стойки за обективи и прецизни водачи трябва да отговарят не само на допустимите отклонения на размерите, но иекстремни изисквания за покритие на повърхността, често по-долуRa 0,1 μm.
Защо покритието на нанометър-ниво на повърхността има значение
Високо{0}}ефективното полупроводниково оборудване разчита в голяма степен на точността на контакта и съвместимостта с чисти помещения. Грапавостта на повърхността, надвишаваща нанометровите прагове, може:
Пречи наточност на поставяне на пластини
Увеличететриене и износванепо време на движение
причинаоптично разсейване на сигнала, засягащи фотолитографията
Създавайтеуловители на частици, увеличавайки рисковете от замърсяване
Например, aподпорен пръстен за вафлен етапс грапавост на повърхността над спецификацията може да причини микро-вибрации, намалявайки точността на позициониране и намалявайки добива.
Предизвикателството за CNC обработка
Достигането на повърхностно покритие от Ra По-малко или равно на 0,1 μm надхвърля стандартните CNC процеси. Традиционните инструменти и параметри често оставят след себе си микро-драскотини, следи от машинна обработка или остатъчно напрежение-всички неприемливи в полупроводникови среди.
Нашият подход към качеството на-нанометрово ниво
ПриBISHEN Прецизност, ние разработихме работни потоци за обработка специално за повърхностно{0}}чувствителни приложения:
Използване наултра{0}}финозърнести карбидни инструментис персонализирани геометрии
Полиращи пасовеинтегрирани в крайните траектории на инструменти
Системи за контрол на охлаждащата течностза избягване на топлинно-микро-разкъсвания
Координация сCMM и интерферометри за бяла{0}}светлиназа валидиране на грапавостта
Всяка част преминава много{0}}етапна проверка не само за допустими отклонения на размерите, но и засуб{0}}микронна повърхностна консистенциявъв всички контактни равнини.
Истински калъф: Огледално{0}}завършени опорни плочи за вафли
Клиент изискваше алуминиеви вафлени плочи с повърхностно покритие, по-добро отRa 0,05 μm, равномерно по цялото тяло. Използвайки оптимизирани високо{1}}техники за довършителни работи и персонализирани стратегии за полиране, ние доставихме компоненти, надвишаващи спецификациите-готови за сглобяване в чисти помещения на ниво EUV-.
Не позволявайте на повърхностното покритие да подкопае вашата система
Несъвършенствата на повърхността в наномащаба могат тихо да компрометират вашите най-прецизни механизми. Ако вашето приложение изискваоптичен{0}}клас покрития, илипревъзходна производителност на триене, говорете с нас. Ние ще ви помогнем да гарантирате, че вашите части отговарят и на двететолерантноститекстура.
