В полупроводниковата индустрия,точност на микрон{0}}нивоне е лукс-това е базова линия. Компоненти, използвани всистеми за обработка на вафли, камери за ецване, иинструменти за фотолитографияизискватдопустими отклонения на размеритечесто под 5 микрона. Традиционните методи за обработка с ЦПУ се борят да отговорят на тези изисквания без специализиран контрол на процеса и метрология.
Предизвикателството: Когато микроните имат значение
За разлика от конвенционалните индустриални части, полупроводниковите компоненти трябва:
Поддържайтеизключителна плоскост и успоредност
имампрецизно подравняване и стъпка на отворите
Осигуретеминимални повърхностни дефектикоето може да повлияе на вакуума или оптичните характеристики
Дори и най-малкото отклонение може да доведе до:
Разминаване по време на прехвърляне на пластини
Загуба на точност при проекция на фотомаска
Загуба на добив поради замърсяване или геометрично отклонение
Пример от-реален свят: Рамки за инструменти за литография
В един проект, включващ aлека рамка от алуминиева сплавза фотолитографска система,толеранс под-5 μmбеше необходимо на монтажните повърхности, за да се гарантираперфектно подравняване на наслагванетона модели на чипове.
За да постигнем това, ние приложихме:
5-осна CNC обработка с термична компенсация
Ниска{0}}вибрация, високо{1}}управление на шпиндела
Измерно{0}}проучване в реално време и вериги за обратна връзка
Без такава прецизност едно изместване от само 10 μm може да изкриви подравняването на маската и да намали добива на чипове-което струва на клиента значително време на престой и загуба на материал.
Нашият процес приBISHEN Прецизност
Ние обслужваме OEM производители на полупроводници със:
Изключително{0}}прецизно CNC фрезоване и струговане (±2~5μm повторяемост)
Ra По-малко или равно на 0,2 μm повърхностна обработказа критични запечатващи или оптични зони
Опаковка,-съвместима с чисти помещения
Инспекция с CMM и лазерно сканиране с проследими отчети
Нашият екип разбиракритичност на всеки микрон-и го подкрепя с опит в обслужването както на научноизследователска и развойна дейност, така и на производствени среди с голям-микс с малък{2}}обем.
Защо има значение
В производството на полупроводници геометрията е всичко. Всяко изкривяване, разместване или изпъкналост може да доведе до:
Изкривяване на модела
Грешки при работа с вафли
Повреда на вакуумната система
Прецизната машинна обработка не е само тесни допуски-а гарантиране нафункционалност и надеждностоборудване за производство на чипове от следващо-поколение.
