При обработката на CNC машинни инструменти, геометричната точност на машинния инструмент се влияе от външни фактори като външни сили и топлина, генерирана по време на обработката. Геометричната деформация на детайлите, обработвани на машината, може да доведе до геометрични грешки. Вътрешните фактори, които причиняват геометрични грешки в CNC машинните машини, се отнасят до геометричните грешки, причинени от самата машина, като хоризонталността на работния плот на машината, хоризонталността и праволинейността на направляващите релси на машината и геометричната точност на машинните инструменти и приспособленията. Външните фактори се отнасят главно до геометрични грешки, генерирани по време на високо-прецизна CNC обработка поради влиянието на външната среда и термичната деформация.
Влиянието на грешката в позицията на високо{0}}прецизно CNC машинно обработване върху точността на обработка. Грешката на позицията се отнася до степента на вариация или отклонение между действителната повърхност, ос или симетрия на обработваната с ЦПУ част и нейната идеална позиция, като вертикалност, позиционна точност, симетрия и т.н. Основните причини за позиционни грешки при обработка с ЦПУ са хлабината и еластичната деформация, причинени от предаване по време на процеса на обработка на машинни части, както и позиционните грешки, причинени от фактори като силата на триене, която главата на инструмента трябва да преодолее по време на CNC обработка.
От дългосрочния-анализ на данните и практическата работа на високо-прецизната CNC обработка може да се види, че позиционирането на CNC машинните машини причинява грешки в точността на обработка. Позиционирането на машинните инструменти има значително влияние върху точността на CNC обработка на CNC машините. От структурна гледна точка, CNC машинните грешки на CNC машинните инструменти са причинени главно от точността на позициониране, а захранващата система на машинния инструмент е основната връзка, която влияе върху точността на позициониране.
